産品詳情
  • 産品名稱:ORC歐阿希 半導體用曝光裝置 PPS-8200 重慶內藤銷售

  • 産品型號:PPS-8200
  • 産品廠商:ORC歐阿希
  • 産品價格:0
  • 折扣價格:0
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簡單介紹:
ORC歐阿希 半導體用曝光裝置 PPS-8200 重慶內藤銷售 ORC歐阿希 半導體用曝光裝置 PPS-8200 重慶內藤銷售 TEL:18375760285 QQ:1280713150 白先生
詳情介紹:

高性能步進器,負責*先進封裝技術的光刻工藝

■ 2.5D,3Dパッケージ ■ CIS/LED
■ TSV ■ IGBT
■ インターポーザ ■ MEMS
■ WL-CSP/FO-WLP ■ Bumping



■ 可変レンズNA機構と等倍Dyson光學系
■ 52x33mmの大面積露光フィールド
■ *大8フィールドの効率的なレチクルデザイン
■ 周囲のケミカルとレジストアウトガスから光學系をプロテクト
■ 薄ウェハ・TAIKOウェハ・反りウェハなどに柔軟に対応する搬送系


■ 露光波長 ghi線,gh線,i線
■ 解像度 2μm L/S (2μmt)
■ 焦點深度 ≧10μm
■ 初期照度 ≧2700mW/cm2
■ 照度分布 ≦ 3% (ghi線)
■ 露光フィールド 52 x 33 mm
■ オーバーレイ精度 ≦ 0.5μm (|AVE|+3σ)
■ 適応ウェハ 6,8,12inch
■ 裝置寸法・重量 3460(D) X 2260(W) X
2500(H) / 5500Kg


■ ウェハ裏面マークでのアライメント機能
■ ウェハ周辺露光/非露光機能


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